Tolok termogandingan (Thermocouple Gauge)
♣ Julat pengukuran :10-1 ~ 10-3 torr (tekanan vakum kasar)
♣ Komponen: filamen, termogandingan
♣ Tolok pengaliran haba (thermal conductivity gauge)
♣ Tolok termogandingan mengukur suhu dan menukarkannya kepada tekanan (bacaan)
♣ Mekanisma pemindahan haba : konduksi, perolakan, sinaran (conduction, convection, radiation)
♣ Kelemahan: ketepatan yang rendah, beroperasi bawah
keadaan ideal, kadar tindak balas yang lambat,
filamen mudah dirosak oleh mikroorganisma
udara, filamen juga boleh berkarat disebabkan
kotoran dalam udara yang menghalang
pemindahan haba.
♣ Kebaikan : tahan lasak & binaan yang ringkas
Bagaimana ia berfungsi
♣ Filamen dipanaskan oleh bekalan elektrik dan suhu diukur terus dari termogandingan.
♣ Arus pemanasan yang melalui filamen panas akan kekal pada nilai piawai suhu filamen tersebut.
♣ Apabila tekanan meningkat pengaliran haba melalui gas meningkat dan suhu filamen menurun.
▼
Banyak perlanggaran zarah-zarah molekul gas
▼
Haba akan terbebas keluar dari filamen
▼
Rod akan berada pada suhu yang rendah(penyejuk)
Tolok Pirani (Pirani gauge)
Tolok pengaliran haba (thermal conductivity gauge)
♣ Filamen ialah bahagian litar titian yang akan memacu meter tekanan
♣ Dalam litar titian yang seimbang aliran arus pada laluan satu bersamaan dengan laluan dua
♣ Apabila pengaliran haba keluar dari filamen, rintangannya berubah.
♣ Perubahan suhu mengakibatkan perubahan pada rintangan filamen
♣ Ketidakstabilan ini menyebabkan perbezaan voltan pada meter dan aliran arus
♣ Meter tersebut diukur dalam unit tekanan.
♣ Julat pengukuran : 2 ~ 10-3torr
♣ Komponen : filamen(Platinum/tungsten,kaca)
♣ Kelemahan : binaan yang kompleks,kos tinggi, filamen mudah dirosak oleh mikroorganisma udara, filamen juga boleh berkarat disebabkan kotoran dalam udara yang menghalang pemindahan haba
♣ Kebaikan : kadar tindak balas yang tinggi. (response)
▼
Haba dialirkan keluar dari filamen
▼
Rintangan berubah
▼
Keseimbangan terganggu
▼
Aliran arus melaluinya
▼
Meter tersebut diukur dalam unit tekanan.
Tolok pengionan (Ionization gauge)
♣ Julat pengukuran : 10-2 ~ 10-12 torr (kebanyakannya 10-3~10-10)
♣ Komponen : grid, filamen, pengumpul ion
♣ Menggunakan prinsip dimana membolehkan memberikan tenaga kepada atom atau molekul.
♣ Kehilangan cas elektron apabila ion dicas akan menarik elektron tekanan diukur
Bagaimana ia berfungsi
♣ Filamen panas : sumber pengionan
♣ Grid : menarik elektron yang telah diionkan
♣ Pengumpul ion : menarik ion
Filamen panas membekalkan elektron yang telah diionkan
▼
Elektron dikeluarkan dari filamen panas dan tertarik pada grid positif
▼
Banyak elektron akan berpusing-pusing melepasi grid beberapa kali sebelum tertarik kepadnya
▼
Elektron akan berlanggar dengan molekul gas
▼
Molekul gas terion
▼
Gas yang terion (positif) akan tertarik kepada pengumpul
▼
Ini akan menghasilkan arus ion berkadaran dengan tekanan dalam kebuk.
Tolok Katod Sejuk (Cold Cathode Gauge)
♣ Tolok tekanan vakum tinggi
♣ Berkebolehan mengionkan molekul
♣ Ketepatan : ±50% dari tekanan sebenar
♣ Kelebihan : tiada filamen (tiada filamen terbakar) & struktur yang meyakinkan
♣ Keburukan : kurang tepat
Bagaimana ia berfungsi
Elektron dikeluarkan oleh katod yang yang dilajukan oleh anod dengan
▼
Elektron melalui permukaan gelung anod sehingga laluannya diterbalikkan oleh
▼
Disebabkan laluan elektron yang panjang pengionan berkemungkinan pada tekanan rendah
▼
Ion positif dihasilkan dan ditarik oleh katod dan menghasilkan arus ion
0 comments:
Post a Comment